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Series : Physics of Atoms and Molecules

Fundamental Electron Interactions With Plasma Processing Gases

Fundamental Electron Interactions With Plasma Processing Gases
Author
Christophorou, Loucas G./ Olthoff, James K. 
Publisher
Kluwer Academic Publishers 
Publication Date
Nov, 2003 
ISBN
0306480379 or 9780306480379
HARDCOVER 
776 Pages
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Description

This volume deals with the basic knowledge and understanding of the fundamental interactions of low-energy electrons with molecules. Recent advances in electron-molecule interaction processes are discussed and a unique up-to-date and comprehensive account of the fundamental interactions of low-energy electrons with molecules of current interest in modern technology, specially the semiconductor industry, is presented. The material provided in this volume will aid scientists and engineers working in many fields of basic and applied science and engineering. The unique and authoritative knowledge, information, and understanding it provides generically underpins advances in plasma, laser, lighting, discharge, environmental, radiation, and other technologies.

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